荷蘭ASML公司是目前全球唯一EUV光刻機供應(yīng)商，7nm制程工藝的芯片都要使用ASML的設(shè)備，現(xiàn)在他們又帶來了一項全新的設(shè)備，適用于5nm及更先進

荷蘭ASML公司是目前全球唯一EUV光刻機供應(yīng)商，7nm制程工藝的芯片都要使用ASML的設(shè)備，現(xiàn)在他們又帶來了一項全新的設(shè)備，適用于5nm及更先進的工藝，提升生產(chǎn)效率。

相比單個電子束檢查工具，eScan1000擁有九個光束，可讓產(chǎn)能提升600%。

日前，ASML宣布，已完成第一代HMI多光束檢測機HMI eScan1000的系統(tǒng)集成和測試，可用于5nm及更先進的工藝，

包括一個電子光學(xué)系統(tǒng)，該系統(tǒng)能夠創(chuàng)建和控制多個一次電子小束，然后收集和處理所產(chǎn)生的二次電子束，將電子束與電子束的串擾限制在2％以下，并提供一致的成像質(zhì)量。

據(jù)悉，eScan1000是基于HMI多光束技術(shù)的檢測系統(tǒng)，

同時它還具有一個高速平臺以提高系統(tǒng)的整體吞吐量，以及一個高速計算架構(gòu)來實時處理來自多個電子束的數(shù)據(jù)流。從而實現(xiàn)物理缺陷檢查和電壓對比檢查，減少晶圓質(zhì)量分析所用的時間。

eScan1000擁有專門的芯片，用以檢測數(shù)據(jù)庫缺陷檢測功能，使得芯片制造商能夠使用晶圓打印檢查來監(jiān)視EUV的缺陷，

此外，這一點在單束解決方案上需要大量時間，而多個電子束很快就能完成。
目前第一個eScan1000已于本周交付客戶進行測試驗證，未來還會推出大量多光束測試設(shè)備滿足客戶對先進工藝的需求。

關(guān)鍵詞： 全新半導(dǎo)體技術(shù)