臺(tái)積電2019年正式啟動(dòng)7nm產(chǎn)品的量產(chǎn),這只能通過波長極短的EUV進(jìn)行操作。資料顯示,EUV光源波長比目前深紫外線微影的光源波長短少約15 倍,因此能達(dá)到持續(xù)將線寬尺寸縮小的目的。
4月9日消息,據(jù)國外媒體報(bào)道,半導(dǎo)體行業(yè)光刻系統(tǒng)供應(yīng)商ASML(阿斯麥)去年交付了26臺(tái)極紫外光刻機(jī)(EUV),調(diào)查公司Omdia表示,其中約一半面向大客戶臺(tái)積電。
ASML此前公布,2019年,共向客戶交付了26臺(tái)極紫外光刻機(jī)。其中,在第四季度交付了8臺(tái)。
ASML還透露,去年交付的26臺(tái)極紫外光刻機(jī)中,有9臺(tái)是最新型號(hào),即NXE:3400C。
英國調(diào)查公司Omdia推測(cè)稱,ASML去年交付的26臺(tái)極紫外光刻機(jī),大約一半面向臺(tái)積電。
臺(tái)積電2019年正式啟動(dòng)7nm產(chǎn)品的量產(chǎn),這只能通過波長極短的EUV進(jìn)行操作。資料顯示,EUV光源波長比目前深紫外線微影的光源波長短少約15 倍,因此能達(dá)到持續(xù)將線寬尺寸縮小的目的。
在晶圓代工領(lǐng)域,臺(tái)積電掌握了全球約一半份額。
另外,三星電子、英特爾等也采購了ASML的極紫外光刻機(jī)設(shè)備。
ASML服務(wù)的客戶為全球主要的半導(dǎo)體制造商,打造在電力電子、通信和信息技術(shù)產(chǎn)品中廣泛應(yīng)用的芯片。
ASML公司總部位于荷蘭的Veldhoven市。生產(chǎn)基地和研發(fā)設(shè)施則位于康涅狄格州、加州、中國臺(tái)灣和荷蘭。科技發(fā)展中心及訓(xùn)練設(shè)施位于日本、韓國、荷蘭、中國臺(tái)灣和美國。
ASML在阿姆斯特丹泛歐證券交易所和納斯達(dá)克上市。周三收盤,ASML(NASDAQ:ASML)股價(jià)上漲2.2%至278.58美元,總市值約1169.51億美元。
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